[发明专利]一种支持脉冲监测功能的射频等离子体源在审
| 申请号： | 202310134744.1 | 申请日： | 2023-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN116170932A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 王奕善;马俊;刘睿哲;赵馗 | 申请（专利权）人： | 上海励兆科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;G01R29/02 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 梁剑 |
| 地址： | 201114 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种支持脉冲监测功能的射频等离子体源，包括：射频电路、功率探测器、RF输出单元、反馈控制单元、数据处理单元、存储器和上位机PC。射频电路的输出端连接功率探测器的输入端，RF输出单元的输入端连接功率探测器的第一输出端，功率探测器的第二输出端连接数据处理单元的输入端，反馈控制单元的输入端连接数据处理单元的第一输出端，射频电路的控制端连接反馈控制单元的输出端，存储器的输入端连接数据处理单元的第二输出端，存储器通过通讯接口将监测的数据结果传输到上位机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支持 脉冲 监测 功能 射频 等离子体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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