[发明专利]一种用于外部气相沉积法的沉积腔在审
| 申请号： | 202310139596.2 | 申请日： | 2023-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN116062984A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 朱继红;王瑞春;顾立新;张欣;胡俊中;张斗;王小飞;鲁戎 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018;C03B19/01 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 430073 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于外部气相沉积法的沉积腔，包括有沉积腔体，沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘，对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯，上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连，沉积腔体的一侧与进风腔相连通，沉积腔的另一侧与抽风腔相连通，其特征在于所述的进风腔位于喷灯背面一侧，进风腔的前面与沉积腔相贯通，进风腔的后面联接上下分隔的子进风腔，每个子进风腔的进风口处设置加热装置，用于对进入气体的加温。本发明能够对送入沉积腔体中不同区域的气体温度进行调控，可使整个沉积腔尤其是粉棒沉积区域的上下温度分布更为均匀和一致，从而有效提高OVD工艺的沉积质量。安设尾气回收管道使得部分尾气回收至气体过滤腔，实现节能节气的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外部 沉积 | ||
【主权项】：
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