[发明专利]一种板式PECVD反应腔气流模拟方法及其模拟设备有效
| 申请号： | 202310147117.1 | 申请日： | 2023-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN115906714B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 庞爱锁;刘群;林佳继;张武 | 申请（专利权）人： | 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/28 | 分类号： | G06F30/28;G16C20/10;G06F30/23;G06T17/20;G06F113/08;G06F119/14;G06F119/08 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 孙孟清 |
| 地址： | 214194 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及模拟仿真技术领域，特别是涉及一种板式PECVD反应腔气流模拟方法及其模拟设备。该板式PECVD反应腔气流模拟方法包括：获取待模拟的板式PECVD反应腔结构的三维模型；将所述待模拟的板式PECVD反应腔结构的三维模型进行仿真计算，并将的仿真计算结果与预设范围进行对比；若所述计算结果位于预设范围内，则获取所述计算中的网格化后的三维模型气流分布数据和温度分布数据。通过获取板式PECVD反应腔的内部结构和重要部位来建立板式PECVD反应腔三维仿真模型，省去了繁琐的实物制造以及试验过程，减少了传统中设计周期较长、设计成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 反应 气流 模拟 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
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