[发明专利]弱刚性非球面光学元件支撑刚度检测系统及变形补偿方法在审
| 申请号： | 202310159179.4 | 申请日： | 2023-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN116337373A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 周炼;李洁;樊非;马厚才;王健;韦前才;邓文辉;钟波;袁志刚 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M5/00 | 分类号： | G01M5/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了弱刚性非球面光学元件支撑刚度检测系统及变形补偿方法，其中系统包括：施压子系统、力传输子系统、数据采集子系统和数据分析子系统；施压子系统，用于产生目标压力；力传输子系统，用于将目标压力施加到轻量化非球面元件的表面；数据采集子系统，用于采集目标压力的大小，以及采集轻量化非球面元件在目标压力的作用下的形变量；数据分析子系统，用于根据目标压力的大小和形变量，计算轻量化非球面元件的支撑刚度。该系统的硬件部分结构紧凑、操作方便，可以高效高精度测量元件表面不同点位处的支撑刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 刚性 球面 光学 元件 支撑 刚度 检测 系统 变形 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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