[发明专利]一种多气氛导模法蓝宝石晶体生长方法及装置在审

专利信息
申请号: 202310163412.6 申请日: 2023-02-24
公开(公告)号: CN116084014A 公开(公告)日: 2023-05-09
发明(设计)人: 王晓亮;黄存新;赵鹏 申请(专利权)人: 中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司
主分类号: C30B27/02 分类号: C30B27/02;C30B15/34;C30B29/20
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 刘继富;王春伟
地址: 100018*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请提供了一种多气氛导模法蓝宝石晶体生长方法及装置,通过将籽晶和晶体生长原料放入晶体生长炉中,然后将晶体生长炉抽真空,再将还原性气体与氩气充入晶体生长炉中,再将晶体生长炉升温至2060℃~2500℃,使得晶体生长原料熔化,然后使籽晶与熔化的晶体生长原料接触,生长晶体。本申请通过在晶体生长炉中增加了还原性气体,为晶体生长炉中易氧化的热场材料提供了还原性气氛,有效抑制了晶体生长炉中热场材料的氧化挥发,提高了晶体生长炉中热场材料的使用寿命,也降低了热场材料的氧化挥发对晶体生长原料的污染,进而降低了蓝宝石晶体中的杂质含量,提高了蓝宝石晶体的质量。
搜索关键词: 一种 气氛 导模法 蓝宝石 晶体生长 方法 装置
【主权项】:
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