[发明专利]一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法有效
| 申请号： | 202310169949.3 | 申请日： | 2023-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN115993695B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 陆宏杰;杨青;庞陈雷;王智;卓桐;王兴锋;牛春阳;殷源;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G02B7/28 | 分类号： | G02B7/28 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 311121 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光谱 原位 自动 对焦 装置 方法 | ||
【主权项】：
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