[发明专利]一种近红外单光子阵列探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种近红外单光子阵列探测器及其制备方法，用于解决现有的单光子阵列探测器制备工艺复杂且防串扰隔离效果较差等技术问题。本阵列探测器包括衬底层、设置在衬底层上表面的外延层和设置在衬底层下表面的减反层；外延层包括自下而上依次生长的缓冲层、吸收层、渐变层、电荷层和帽层；缓冲层靠近衬底层；帽层远离电荷层的一侧设有钝化层；钝化层上间隔均布多个第二电极窗口和多个第三电极窗口，每个第二电极窗口内侧设有像元阳极金属电极，每个第三电极窗口内侧设有隔离区电极；帽层与第二电极窗口外侧围成有源扩散区，与第三电极窗口之间围成扩散隔离区；扩散隔离区均为台阶结构，其深度与有源扩散区的深度相同。