[发明专利]芯片缺陷的观测装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202310172487.0 | 申请日： | 2023-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN116067974A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 周健刚 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种芯片缺陷的观测装置，包括数据存储系统，数据存储系统用于存储die制造过程中的图像数据；立体图像生成模块，立体图像生成模块用于根据图像数据形成X轴、Y轴、Z轴的缺陷显示图像，之后根据显示图像形成die的立体图像；立体图像显示模块，立体图像显示模块用于观测die的立体图像。本发明能够达到无死角实时观测的目的，更全面的分析缺陷，尤其是缺陷底部，侧边等不易观测的地方。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 缺陷 观测 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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