[发明专利]一种利用合金电极调控氧化铪基铁电材料铁电性的方法有效
| 申请号： | 202310173495.7 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN115881702B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 杨玉超;刘柯钦;黄如 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H10B53/30 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 李稚婷 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用合金电极调控氧化铪基铁电材料铁电性的方法。在采用氧化铪基铁电材料的铁电层的上下两面分别设置顶电极和底电极，其中，顶电极和/或底电极采用两种或更多种金属组成的合金材料，通过调节这两种或更多种金属的比例来调节合金材料的属性，从而对氧化铪基铁电材料的剩余极化和矫顽场的偏置实现调控。本发明首次提出采用合金电极对氧化铪基铁电材料的剩余极化和矫顽场的偏置进行调控，通过逐渐调节合金电极中各金属的比例，可以获得单种金属所不具备的中间特性，从而实现连续调节、精确调节的效果。本发明对铁电器件性能的调控和优化有重要价值，为铁电器件在存储、逻辑和类脑计算领域的应用提供了重要的支撑作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 合金 电极 调控 氧化 铪基铁电 材料 铁电性 方法 | ||
【主权项】：
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