[发明专利]一种用于电子级氟制备的收集设备在审

专利信息
申请号: 202310178376.0 申请日: 2023-02-28
公开(公告)号: CN116608405A 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 华小林;张著福;刘永涛;沈荣辉;傅钟盛 申请(专利权)人: 福建德尔科技股份有限公司
主分类号: F17C1/00 分类号: F17C1/00;F25D31/00;F17C13/08;F16L58/10;F16F15/067
代理公司: 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 代理人: 郭建明
地址: 364204 福建省龙岩*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种用于电子级氟制备的收集设备,包括收集瓶,收集瓶的整体为碳钢材质,且收集瓶为内外双层结构,并且收集瓶的内外双层结构之间设置有填充层,该填充层的内部注入有氩气,收集瓶的上端设置有集气管口,集气管口的内外壁均涂设有四氟乙烯涂料,利用聚四氟乙烯来降低电子级氟输送至收集瓶的过程中集气管口被电子级氟侵蚀的程度,同时在气体检测传感器的检测下,便会将该信号传递至微型气泵并促使微型气泵启动,从而利用微型气泵提供的吸力将安全阀内部泄露的电子级氟通过回输管再次送入收集瓶的内部,进而不仅减少了电子级氟外泄的情况发生,同时也能够减少收集瓶内部电子级氟资源的浪费。
搜索关键词: 一种 用于 电子 制备 收集 设备
【主权项】:
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