[发明专利]一种杠杆放大的高灵敏度光纤光栅微力传感器及设计方法在审
申请号: | 202310179554.1 | 申请日: | 2023-02-28 |
公开(公告)号: | CN116164867A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 张小栋;刘洪成;熊逸伟 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24;A61B34/00;A61B34/30;A61F9/007 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李鹏威 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种杠杆放大的高灵敏度光纤光栅微力传感器及设计方法,本发明将杠杆结构与悬臂梁结构相结合作为一次敏感元件,采用光纤光栅作为二次敏感元件,实现了测量力的放大,提高了传感器微力测量的灵敏度。本发明在悬臂梁上下对称的位置分别布置了光纤光栅,通过两个栅区中心波长变化量做差的方式可进行温度补偿,减小了环境温度变化对力测量的影响。其次,本发明结构小巧,容易与眼科手术机器人末端执行器进行组装适配,故可根据不同眼科手术需求,与不同的末端手术器械进行适配。最后,本发明主要由敏感元件及固定块构成,构成敏感元件的悬臂梁、柔性铰链、杠杆以及固定块可由激光切割一体成型,传感器制作非常方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 杠杆 放大 灵敏度 光纤 光栅 传感器 设计 方法 | ||
【主权项】:
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