[发明专利]一种激光诱导石墨化促进金刚石抛光的装置及方法在审
| 申请号： | 202310185936.5 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116141086A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 许剑锋;刘念;雷凌;肖峻峰;张建国 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/00 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 石梦雅;张彩锦 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光诱导石墨化促进金刚石抛光的装置及方法，属于金刚石抛光领域，该装置包括激光器以及从上至下依次设置的传动轴、玻璃、金属抛光盘和旋转载物台，其中：激光器用于发射激光；传动轴中间开孔，该传动轴下方开槽用于固定玻璃；玻璃的下方开槽用于固定金刚石；金属抛光盘固定在旋转载物台的上方，并与金刚石待抛光面以预设压力接触，用于对金刚石进行抛光。本发明利用激光依次穿过玻璃和金刚石后聚焦到金属抛光盘上以对其进行烧蚀，并诱导金刚石待抛光面石墨化，同时利用金属抛光盘的摩擦作用去除石墨化的金刚石以实现抛光，进而使得激光诱导石墨化与摩擦抛光同时进行，有效提高抛光效率，实现金刚石的高效率低损伤超光滑抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 诱导 石墨 促进 金刚石 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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