[发明专利]一种灵敏度高且对严苛环境耐受力强的柔性应变传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310197333.7 | 申请日： | 2023-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN116123986A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 张广平;吴绪苹;罗雪梅;宋竹满 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 于晓波 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种灵敏度高且对严苛环境耐受力强的柔性应变传感器及其制备方法，属于应变传感器技术领域。所述柔性应变传感器包括柔性衬底、含规则狭缝阵列的薄板状导电层以及导电层两端连接的金属测试导线，其中导电层呈特殊设计的连续结构。所述制备方法的步骤包括：采用微加工方式将导电层切割出狭缝阵列图案、在狭缝阵列局部的沟道侧壁部位电镀金属薄膜、连接测试导线、将导电层封装在两片预拉伸的柔性衬底中、最后释放柔性衬底中的预应变。本发明所提供的柔性应变传感器不仅灵敏度高，能够实现微小应变的精确检测，同时，在过载、冲击、水下浸泡等严苛环境作用之后其电阻响应水平不衰减，此外，还具有结构简单、响应速度快等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 严苛 环境 耐受 柔性 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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