[发明专利]图像传感器及其制备方法

摘要

本公开涉及一种图像传感器及其制备方法，包括：衬底，包括相对的第一表面和第二表面，所述衬底内间隔设置有多个像素区，所述衬底具有第一导电类型；第一沟槽，位于相邻所述像素区之间，自所述第一表面延伸至所述衬底内；光电二极管，位于所述像素区内，且靠近所述第一表面一侧；第二沟槽，位于相邻所述像素区之间，自所述第二表面延伸至所述衬底内；第一掺杂区和第二掺杂区，间隔设置于所述衬底内，且围绕所述第二沟槽，所述第一掺杂区具有第一导电类型，所述第二掺杂区具有第二导电类型。通过间隔设置的第一掺杂区和第二掺杂区，使得空穴被吸引，而电子流向相应的光电二极管，从而减缓电荷串扰现象发生，提高了图像传感器生成图像的质量。