[发明专利]一种垂直型氮化镓LED的三色芯片及制备方法在审
| 申请号： | 202310207451.1 | 申请日： | 2023-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN116093222A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 刘新科;蒋忠伟;林锦沛;杨永凯;贺威;方明;黎晓华;钟泽;黄双武 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01L33/08;H01L33/00;H01L33/02;H01L33/50 |
| 代理公司： | 深圳尚业知识产权代理事务所(普通合伙) 44503 | 代理人： | 张文凯 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种垂直型氮化镓LED的三色芯片，包括：重掺杂氮化镓自支撑衬底的正面依次沉积有n型氮化镓外延层、InGaN/GaN多量子阱有源层和p型氮化镓外延层，重掺杂氮化镓自支撑衬底的背面沉积有背面N‑type接触电极；p型氮化镓外延层的一侧区域覆盖单晶MoS |
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| 搜索关键词： | 一种 垂直 氮化 led 三色 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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