[发明专利]高压LDMOS在审
申请号: | 202310211077.2 | 申请日: | 2023-03-07 |
公开(公告)号: | CN116799033A | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 潘山山;蔡莹;金锋 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 郭四华 |
地址: | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种高压LDMOS,包括:在俯视面上,高压LDMOS的部分区域中具有一个以上的U型结构,在U型结构的U型端头处,漂移区呈U型,漂移区内侧位于靠近源区一侧,外侧为靠近漏区的一侧,漏极的高压在所述U型端头处向内包覆所述源极。在U型端头处设置有电场分散结构,包括一根以上的形成于漂移区底部的第二导电类型的掺杂条,掺杂条接地,掺杂条从源极向漏极一侧延伸,漏极高压产生电场会分散到掺杂条中,使电场线从二维集中转变为三维分散,从而避免使漏极的高压产生的电场集中到源极并从而实现电场分散。本发明能具有U型结构的俯视面结构以增加器件的电流,同时能避免U型结构所带来的电场集中的缺陷,提高器件的击穿电压。 | ||
搜索关键词: | 高压 ldmos | ||
【主权项】:
暂无信息
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