[发明专利]一种高均一性激光微通道并行加工方法在审

专利信息
申请号: 202310221800.5 申请日: 2023-03-09
公开(公告)号: CN116160126A 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 庞泳;孙树峰;董海韬;宋传旺;王茜;王津;祖志丹 申请(专利权)人: 青岛理工大学
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/046
代理公司: 青岛清泰联信知识产权代理有限公司 37256 代理人: 陈宇瑄
地址: 266033 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种高均一性激光微通道并行加工方法,具体通过放置图像采集设备实时采集各分束激光的微通道加工图像,并进行图像测量,对应得到每一个分束激光的焦点位置情况;并根据每一个分束激光的离焦情况和上一次激光矢量光束阵列各分束激光的参数进行分析比较,通过调整分数阶傅里叶变换的分数阶阶次重新计算全息图,进而对每一个分束激光加工时的焦点位置进行调整,从而实现微通道并行加工时的高均一性。与现有技术相比本发明的有益效果是:可以快速有效的保证基底材料所有加工区域均处于激光焦点位置,以实现并行加工的高均一性。
搜索关键词: 一种 均一 激光 通道 并行 加工 方法
【主权项】:
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