[发明专利]一种平整度测试方法和装置在审
| 申请号： | 202310224682.3 | 申请日： | 2023-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN116295222A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 杨波;张莉娟 | 申请（专利权）人： | 上海芯谦集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 上海格联律师事务所 31412 | 代理人： | 陈源源 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区自由贸易试*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种平整度测试方法和装置，方法包括如下步骤：选择平整参照面，平整参照面与抛光垫的测试面相对平行；在测试面上设置多个第一测试点；获取多个第一测试点与平整参照面的距离，记为第一距离；计算第一距离的样本方差，记为第一方差D |
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| 搜索关键词： | 一种 平整 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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