[发明专利]一种单晶炉用的短单晶取放车在审
| 申请号： | 202310225987.6 | 申请日： | 2023-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN116219552A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 杨宇;关树军;洪华;路建华;杨春祥;何阳;石鑫 | 申请（专利权）人： | 乐山市京运通新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 赵雷 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉用的短单晶取放车，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术中短晶棒的取放、横置操作效率低的问题。本发明实施例的一种单晶炉用的短单晶取放车，包括用于运送短晶棒的推车主体和用于夹取、放置短晶棒的旋转夹取模块，以及用于驱动旋转夹取模块沿竖直方向自由移动的驱动模块，旋转夹取模块设置于驱动模块上，驱动模块设置于推车主体上；旋转夹取模块包括固定架、旋转组件和夹爪组件，其中：固定架设置于驱动模块的输出端上，旋转组件转动连接于固定架上并与随其上下移动，夹爪组件设置于旋转组件上并用于夹放短晶棒并随旋转组件旋转；固定架包括用于限制旋转组件呈横向或竖向状态的卡杆组件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉用 短单晶取放车 | ||
【主权项】：
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