[发明专利]一种光敏性树脂组合物及其应用在审
| 申请号： | 202310230128.6 | 申请日： | 2023-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN116375928A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张威;向文胜;张兵;杜冰;贾雪 | 申请（专利权）人： | 艾森半导体材料（南通）有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F212/14;C08F220/20;C08F220/06;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 颜欢 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光敏性树脂组合物及其应用，属于光刻胶技术领域。该组合物包括第一组分；第一组分为可溶于碱性水溶液的聚合物，聚合物的主链骨架为丙烯酸酯类聚合物；以质量百分数计，制备第一组分的单体中含有30‑40％的丙烯酸酯类单体A以及40‑50％的丙烯酸酯类单体B，余量为单体C；丙烯酸酯类单体A为具有环状结构基团的单体，丙烯酸酯类单体B为具有长链脂肪族基团的单体，单体C为具有酚羟基和/或羧基的单体。该光敏性树脂组合物具有良好的分辨率、耐蚀刻性及优异的附着稳定性，具有负性特征，可用碱性水溶液显影。该光敏性树脂组合物可用于制备RDL布线层，能够保留较多的线条数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光敏 树脂 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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