[发明专利]一种衰减器加工方法及设备在审

专利信息
申请号: 202310230607.8 申请日: 2023-03-07
公开(公告)号: CN116288240A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 高闿阅;陈书超;肖新来;周金;张毅;董金伟;高志强;张彬 申请(专利权)人: 山东微波电真空技术有限公司
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/46;C23C16/04;C23C16/52;C23C16/458;C23C16/448
代理公司: 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 代理人: 孟令鲁
地址: 250000 山东省济南市历城区王*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于行波管加工技术领域,具体提供了一种衰减器加工方法及设备,包括外壳、供气组件、加热机构、夹持机构,外壳内部形成真空腔室;供气组件能够向真空腔室供给正庚烷气体;加热机构设于真空腔室中,加热机构能够向外辐射热量;夹持机构能够定位夹持杆,以使得夹持杆沿第一方向延伸并靠近加热面,进而使得夹持杆能够承接从加热机构辐射处的热量;加热机构具有楔形导热板,楔形导热板的外侧面形成加热面,楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化,以调节夹持杆任意位置与加热面的距离,进而调节夹持杆不同位置的温度。
搜索关键词: 一种 衰减器 加工 方法 设备
【主权项】:
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