[发明专利]一种衰减器加工方法及设备在审
申请号: | 202310230607.8 | 申请日: | 2023-03-07 |
公开(公告)号: | CN116288240A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 高闿阅;陈书超;肖新来;周金;张毅;董金伟;高志强;张彬 | 申请(专利权)人: | 山东微波电真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/04;C23C16/52;C23C16/458;C23C16/448 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 孟令鲁 |
地址: | 250000 山东省济南市历城区王*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于行波管加工技术领域,具体提供了一种衰减器加工方法及设备,包括外壳、供气组件、加热机构、夹持机构,外壳内部形成真空腔室;供气组件能够向真空腔室供给正庚烷气体;加热机构设于真空腔室中,加热机构能够向外辐射热量;夹持机构能够定位夹持杆,以使得夹持杆沿第一方向延伸并靠近加热面,进而使得夹持杆能够承接从加热机构辐射处的热量;加热机构具有楔形导热板,楔形导热板的外侧面形成加热面,楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化,以调节夹持杆任意位置与加热面的距离,进而调节夹持杆不同位置的温度。 | ||
搜索关键词: | 一种 衰减器 加工 方法 设备 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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