[发明专利]一种红外带通滤光片制造方法及滤光片在审
| 申请号： | 202310234048.8 | 申请日： | 2023-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN116463596A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 刘贝 | 申请（专利权）人： | 江阴市导润光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/10;C23C14/54;C23C14/58;C03C17/34;G02B5/20 |
| 代理公司： | 无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 张春合 |
| 地址： | 214400 江苏省无锡市江阴市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种红外带通滤光片制造方法及滤光片，采用磁控溅射镀膜技术分别将前表面膜和后表面膜镀制于基材的前、后表面，所述前表面膜和后表面膜均包括多层膜，使用高、低折射率材料分层镀制；镀膜原材料包括基材、靶材、溅射气体、反应气体等。所述高折射率材料包括硅‑氢材料，所述前表面膜使用法布里‑珀罗干涉型膜系,后表面膜使用长波通干涉截止膜系；通过将高折射率Si‑H材料与低折射率SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 外带 滤光 制造 方法 | ||
【主权项】：
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