[发明专利]高介电常数镉磷硫晶体的制备方法、应用及电子器件在审

专利信息
申请号: 202310234865.3 申请日: 2023-03-13
公开(公告)号: CN116463719A 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 钟绵增;袁乐;徐子杰;李嘉晨;束传存;夏庆林;何军 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C30B25/00 分类号: C30B25/00;C30B28/14;C30B29/46;C30B23/00;C30B28/12;H01G4/08
代理公司: 长沙知行亦创知识产权代理事务所(普通合伙) 43240 代理人: 李杰
地址: 410000 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种高介电常数镉磷硫晶体的制备方法、应用及电子器件。该制备方法包括以下步骤:根据镉磷硫晶体对应化学结构式中各组成元素的摩尔比提供镉单质、磷单质和硫单质;镉磷硫晶体的化学结构式为CdPS3。采用化学气相输运法直接生长镉磷硫晶体;或采用化学气相沉积法、物理气相沉积法、金属有机源化学气相沉积法直接在绝缘衬底上生长镉磷硫晶体。上述的高介电常数镉磷硫晶体的制备方法中,以镉单质、磷单质和硫单质为原料,不包含其他元素;至少减少高介电常数镉磷硫晶体中其他元素的含量,提高其纯度,同时高介电常数镉磷硫晶体的颗粒较为完整,粒径较大,且具有较高的相对介电常数。
搜索关键词: 介电常数 镉磷硫 晶体 制备 方法 应用 电子器件
【主权项】:
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