[发明专利]光源模块、具备其的光照射装置以及光源模块的冷却方法在审
| 申请号： | 202310241080.9 | 申请日： | 2023-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN116339080A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 井上智彦 | 申请（专利权）人： | 凤凰电机公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够应对宽度宽的工件且能够使制冷剂附着于工件的可能性极小化的光源模块。光源模块(10)由多个光源(12)、在表面配置有光源(12)的基板(14)以及配置于基板(14)的背面的散热器(16)构成。并且，在散热器(16)上形成有供在内部流通制冷剂(L)的制冷剂流通管(50)嵌入的制冷剂流通管嵌入槽(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 模块 具备 照射 装置 以及 冷却 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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