[发明专利]探针片及其制造方法

摘要

本发明提供一种探针片，具备探针，所述探针具备适度的上下移动余量，能够稳定且适当地与球形凸起加压接触。本发明所涉及的探针片，具备：贯通电极，由贯通片上下表面之间的贯通孔构成；贯通狭缝，俯视环状地包围该贯通电极的周围的同时贯通片上下表面之间；上下移动探针，经由该贯通狭缝从片主体切离；以及引导孔，经由同上贯通狭缝包围所述上下移动探针，所述上下移动探针在侧面具有由第一锥面和第二锥面构成的膨出角部，另一方面，所述引导孔在内壁具有由与所述第一锥面相对的第三锥面和与所述第二锥面相对的第四锥面构成的接受角部，通过该接受角部和所述膨出角部在防止所述上下移动探针的脱落的同时允许上下移动。