[发明专利]基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置与方法在审
| 申请号： | 202310253068.X | 申请日： | 2023-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN116399222A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 刘辰光;刘俭;陈钊;华子杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/24;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置和方法，装置包括：时分复用圆偏光产生模块，用于将偏振激光分为左右旋圆偏光，调制后耦合；热波探测光整形模块，用于将耦合的光束整形成环形光；热波泵浦光产生模块，用于产生热波泵浦光；光束照明模块，用于利用环形光和热波泵浦光合束后的光束对待测样品进行扫描；暗场非线性热波探测模块，用于过滤出扫描光束中的热波散射光，根据热波散射光得到暗场热波信号，对暗场热波信号进行解调得到圆二向色性暗场热波成像结果。通过本发明可获取多种几何缺陷的三维分布信息以及缺陷的手性检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 二向色性 暗场 非线性 热波共焦 显微 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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