[发明专利]铁电电容的电流退火结构及方法在审
| 申请号： | 202310263860.3 | 申请日： | 2023-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN116209277A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 毕津顺;王健健;韩婷婷;朱伟强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H10B53/30 | 分类号： | H10B53/30;H10B53/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张博 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种铁电电容的电流退火结构，包括：顶电极金属层，其设置有延伸而出的两个顶电极PAD；底电极金属层，其设置有延伸而出的两个底电极PAD；铁电电容，设置于所述顶电极金属层和底电极金属层之间并与所述顶电极金属层和底电极金属层相贴合；通过对所述顶电极PAD施加电压脉冲使其流经顶电极金属层产生焦耳热，利用所述焦耳热对所述铁电电容退火。同时，本公开还提供一种利用以上所述的电流退火结构对铁电电容进行电流退火的方法，能够缓解现有技术中对铁电电容器件进行退火处理时退火温度高，退火时间长，无法实现对晶圆选择性加热，容易受到不必要的高温热的影响等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 电流 退火 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310263860.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
