[发明专利]一种带辅助加热功能的多段加热炉体在审
| 申请号： | 202310267598.X | 申请日： | 2023-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN116202324A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张海林;刘国霞 | 申请（专利权）人： | 赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D1/00;F27D19/00 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 张剑锋 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带辅助加热功能的多段加热炉体，属于加热炉技术领域，包括炉体以及设置于炉体内的工艺管，所述炉体内沿其中轴线方向依次设置有多段主炉丝加热单元，其中位于端部的两个主炉丝加热单元为付控段，另外多个主炉丝加热单元为恒温段，所述主炉丝加热单元均设置有对应的辅助加热炉丝单元，所述辅助加热炉丝单元包括三组加热组件，其中一组加热组件位于主炉丝加热单元的底部，另两组加热组件在炉体上呈对称设置且位于主炉丝加热单元的下部分。由此，能够实现对炉体底部的温度进行补偿，从而使底部的温度与顶部的温度温差较小，符合晶片的工艺温度均匀性要求，提升晶片工艺的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 加热 功能 加热炉 | ||
【主权项】：
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