[发明专利]一种具有优异热稳定性和阻氧能力的可变折射率减反膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202310269455.2 | 申请日： | 2023-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN116334535A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 高俊华;熊辉;曹鸿涛;陈芝琳;姜雨欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;G02B1/113 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 曹兆霞 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种具有优异热稳定性和阻氧能力的可变折射率减反膜的制备方法，包括以下步骤：设置金属靶材包括钛、锆、铪、镧、钕、钇、钐、镱、镥中任意一种；设置陶瓷靶材包括二氧化硅或氧化铝；控制金属靶材的功率密度为0.2‑2.0W/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 优异 热稳定性 能力 可变 折射率 减反膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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