[发明专利]一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统在审
| 申请号： | 202310272914.2 | 申请日： | 2023-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN116788499A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 石云波;赵锐;栗文凯;沈富明;马昊天;李艳 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B64C13/50 | 分类号： | B64C13/50;B64U40/00;B64U10/80 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 侯小幸 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统，涉及微型飞行器控制领域。该系统包括致动器、传递器、控制面及反馈器，致动器主要包括蠕动电极、驱动臂和位移梭结构；传递器包括传递梁、旋转槽和杠杆结构；控制面包括固定卡槽和垂直机翼，通过对垂直机翼的偏转角度的调节来完成对飞行器轨迹的调控；反馈器包括偏转梁、扩散电阻和固定锚点，采用微小应力变化敏感的特点来实现对复杂的气动升力的测量。本发明使用蠕动电极结构作为致动器的动力产生部分，借助其可积累力和位移的特点，实现了高的气动升力的产生，同时减小了系统的整体面积。借助压阻式传感器进行反馈调节，减少了复杂的气动升力的测量过程，同时也为系统的自调节提供了帮助。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 蠕动 电极 mems 气动 控制 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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