[发明专利]一种半导体光学设备及其控制系统在审
| 申请号： | 202310291035.4 | 申请日： | 2023-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN116297517A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 姚岭;郭艳玲 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H02P8/14;H02P8/32;H02P8/38;H01L21/66;H01L21/67;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 孟旭彤 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体光学设备控制系统，该系统包括，上位机；主控制器，与上位机耦接；时序发生单元，与主控制器电连接；驱动单元，用以驱动多路步进电机；主控制器发送步进电机动作控制曲线数据至时序发生单元，由时序发生单元根据所述的动作控制曲线数据生成步进电机控制脉冲波形，并发送驱动单元。动作控制曲线包括3个区段，分别为，第一区段，为加速区段，时间期间为0～t0；第二区段，为平稳区段，时间期间为t0～t1；第三区段，为减速区段，时间期间为t1～t2；第一区段的动作控制曲线的形状为S形，第三区段的动作控制曲线的形状为第一区段的动作控制曲线的形状的镜像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 光学 设备 及其 控制系统 | ||
【主权项】：
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