[发明专利]一种抗老化高稳石英谐振器晶片加工方法在审
| 申请号： | 202310307832.7 | 申请日： | 2023-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN116318007A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 魏鹏;吕松;李磊;张振友;王盼;许静;吴婷婷;赵明;权永峰;赵效阳;聂祎;陈丽丽;刘春燕;李雪梅;张玲鲜;张玉 | 申请（专利权）人： | 河北远东通信系统工程有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/19 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050200 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抗老化高稳石英谐振器加工方法，属于石英晶片加工领域。该方法包括光刻晶片制作、高压电离子迁移、紫外清洗以及等离子清洗等步骤。本发明方法能够提升高稳石英谐振器的长期稳定度，具有产品一致性程度高，频率老化变化小的特点，可实现高稳石英谐振器的批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 老化 石英 谐振器 晶片 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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