[发明专利]一种光纤尖端超声传感器及其制备方法在审
申请号: | 202310317823.6 | 申请日: | 2023-03-29 |
公开(公告)号: | CN116429238A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 董波;陈宗渝;张森鹏;黄沃彬 | 申请(专利权)人: | 深圳技术大学 |
主分类号: | G01H9/00 | 分类号: | G01H9/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 杨振鹏 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种光纤尖端超声传感器及其制备方法,包括:传感膜、传感柱、支撑座以及单模光纤。传感膜包括一检测面和支撑面,检测面用于接收超声检测振动信号,支撑面与传感柱相连接,传感膜在超声检测振动信号的作用下发生弹性形变;传感柱与传感膜的支撑面相连接,用于支撑传感膜,并在超声检测振动信号的作用下发生弹性形变;支撑座包括一光纤接触面和传感柱接触面,传感柱接触面与传感柱相连接,用于支撑传感柱,光纤接触面与单模光纤相连接;单模光纤包括一光纤端面,光纤端面与支撑座相连接,单模光纤用于根据干涉结果输出相应的光信号。本发明缩小了超声传感器的体积,降低了制作难度,大幅提高了灵敏度、稳定性及生产可重复性。 | ||
搜索关键词: | 一种 光纤 尖端 超声 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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