[发明专利]一种铁电增强的铜基薄膜太阳电池无镉缓冲层掺氢锌锡氧的制备方法及其应用在审
| 申请号： | 202310318272.5 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116288213A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘慧桢;董家斌;刘越;张生利;张毅 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;H01L31/0216;H01L31/0445;H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种铁电增强的铜基薄膜太阳电池无镉缓冲层掺氢锌锡氧的制备方法及其应用。将氧化锌靶材和二氧化锡靶材装入磁控溅射腔体，采用双靶共溅射法沉积掺氢锌锡氧(ZTO:H)薄膜，沉积ZTO:H时SnO |
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| 搜索关键词： | 一种 增强 薄膜 太阳电池 缓冲 层掺氢锌锡氧 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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