[发明专利]光波导的缺陷检测系统在审
| 申请号： | 202310318781.8 | 申请日： | 2023-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN116297518A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张亮亮;韩成飞;陈标;韩东成 | 申请（专利权）人： | 安徽省东超科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐章伟 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光波导的缺陷检测系统，系统包括：光源、样品台、第一傅里叶透镜、第二傅里叶透镜和探测器；光源，用于给样品台上放置的待检测光波导提供检测光，待检测光波导与入射检测光的传播方向呈预设角度；第一傅里叶透镜，置于样品台后，用于对从待检测光波导出射的光波进行傅里叶变换，得到频谱信息；第二傅里叶透镜，置于第一傅里叶透镜后，且与第一傅里叶透镜之间的距离大于第一傅里叶透镜的焦距，用于对频谱信息进行傅里叶逆变换，得到频谱信息的时域信号；探测器，置于第二傅里叶透镜的后焦面上，用于基于时域信号获取缺陷检测图像，并根据缺陷检测图像识别缺陷信息。该系统可自动检测光波导缺陷的大小和位置信息，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】：
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