[发明专利]一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202310322429.1 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116516228A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 周青;黄卓斌;谢明达;罗大微;尹存宏;王海丰 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学;贵州大学 |
| 主分类号： | C22C30/00 | 分类号： | C22C30/00;C22C1/04;B22F3/105;C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安恒玖慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 61281 | 代理人： | 韩红芳 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于耐磨合金材料技术领域，涉及一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法。所述的超硬耐磨难熔高熵合金薄膜具有超细纳米晶、硬度耐磨性能超常等特征。所述的制备方法包括以下步骤：制备NbMoWTa难熔高熵合金靶材；所述的溅射靶材是通过Nb、Mo、W、Ta金属粉末球磨混合后，在高温下进行等离子体烧结而成；采用磁控溅射法将所得到的难熔高熵合金靶材在硅基底上溅射成膜，得到超硬耐磨难熔高熵合金薄膜。本发明制备工艺简单、稳定可控；所得到的产品晶粒细小均一、力学性能和耐磨性优异。这为实现难熔高熵合金在极端工程应用提供了必要条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐磨 难熔高熵 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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