[发明专利]碳氟类气体的分离纯化方法在审
| 申请号： | 202310338293.3 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116281950A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 赵毅;焦中鹏;毕聪智;王明月;奚颖 | 申请（专利权）人： | 大连科利德光电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/10 | 分类号： | C01B32/10 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 沈涛 |
| 地址： | 116200 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子特气领域，尤其涉及碳氟类气体的分离纯化方法，其包括以下步骤：(1)向工业级碳氟气体中混入氯气，并在紫外照射下使得其中的碳氢化合物氯并进行清洗；(2)将经过清洗后的工业级碳氟气体进行通过过渡金属氧化物催化氧化；(3)将经过催化氧化处理后的碳氟气体通入到含有杂质气体吸附剂的离子液体中进行吸附；(4)吸附结束后将碳氟气体通入到精馏塔中精馏脱轻脱重，得到高纯碳氟类气体。本发明中的方法能够对碳氟类气体起到充分的分离纯化作用，经过纯化后得到的高纯碳氟类气体能够有效应用于半导体工业中。同时本发明中的纯化方法操作简单，能够有效成本低廉，能够适用于工业级应用。 | ||
| 搜索关键词： | 碳氟类 气体 分离 纯化 方法 | ||
【主权项】：
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