[发明专利]光学测量组件、半导体光学膜厚和线宽测量装置与方法在审
| 申请号： | 202310340897.1 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116518851A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 叶薇薇;胡晔琳 | 申请（专利权）人： | 江苏匠岭半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光学测量组件、半导体光学膜厚和线宽测量装置与方法，所述光学测量组件，包括：光阑底板，所述光阑底板上设置多个通孔，适于根据光学测量的需要选择透光的通孔，其它通孔进行遮蔽。本发明所提供的光学测量组件，能够根据测试需求快速的变换进入测量光路的孔径光阑的通孔，而改变进入测试接收端的光路，从而能够在一次样品测量操作中，快速的对测试样品进行不同入射角，不同方位角的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 组件 半导体 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏匠岭半导体有限公司，未经江苏匠岭半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310340897.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
