[发明专利]一种刷头机构、刷洗机摆臂及半导体设备有效
| 申请号： | 202310349373.9 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116116788B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;杨仕品;华斌 | 申请（专利权）人： | 苏州智程半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种刷头机构、刷洗机摆臂及半导体设备，该刷头机构包括：底座，配置于所述底座的枢转组件，所述枢转组件轴向延伸出所述底座的一端形成刷头，所述底座装配用于驱动所述枢转组件带动所述刷头转动的驱动组件，以及用于调节所述刷头底面与晶圆表面之间距离的调节组件；所述枢转组件包括：连接所述刷头的驱动轴；所述调节组件包括：与所述驱动轴形成活动连接的衔接块，装配于所述衔接块并用于向所述驱动轴施加轴向力的配重单元，以及轴向套设于所述驱动轴的弹性单元。通过本申请，实现了自动地对驱动轴进行适应性升降调节，以提高对晶圆的清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机构 刷洗 机摆臂 半导体设备 | ||
【主权项】：
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