[发明专利]一种基于偏振相移的光学元件应力检测系统及方法在审
申请号: | 202310353960.5 | 申请日: | 2023-04-04 |
公开(公告)号: | CN116295985A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 卢景琦;金俊雄;冯天琪 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24 |
代理公司: | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人: | 马千会 |
地址: | 266200 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于光学检测技术领域,具体涉及光学元件应力检测系统及方法。基于偏振相移的光学元件应力检测系统,包括:依次设置的光源模块、检偏模块及采集处理模块;所述光源模块,用于生成线偏振光并输出第一光束;所述检偏模块,用于对经过待测元件的第一光束调制处理,生成带有待测元件的应力光强信息的第二束光;所述采集处理模块,用于对第二光束进行收束处理,生成第三光束;并将采集的第三光束的光强信息进行计算处理,得出待测元件的应力信息。本发明利用一种新型的光学元件检测系统实现应力检测,不仅能够避免光路干扰和光学干涉等问题,而且还能够提高应力检测的精度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 偏振 相移 光学 元件 应力 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
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