[发明专利]一种双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪的误差校准方法在审
申请号: | 202310354459.0 | 申请日: | 2023-04-01 |
公开(公告)号: | CN116930093A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 雷兵;高超;翁剑宇;曹晓昱;张斌;施建华 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21 |
代理公司: | 国防科技大学专利服务中心 43202 | 代理人: | 关洪涛 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪的误差校准方法,从整体上考虑了起偏调制单元与检偏调制单元的调制矢量,通过一系列简单测量即可完成对光学系统的校准。该方法不依赖于系统模型,避免了因建模偏差引入的系统误差,大幅度降低了误差校准的难度并且提高了系统的校准精度。与传统的参数标定法与特征值校准法相比,本发明不需要任何标准样品,也无需任何系统的先验信息,仅利用线偏振片与圆偏振片即可完成系统校准,操作方便,计算结果稳定。实验证明,本发明提出的双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪的校准方法能够有效降低系统各误差因素的影响,显著提高待测样品穆勒矩阵的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 涡旋 穆勒 矩阵 椭偏仪 误差 校准 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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