[发明专利]一种用于扫描电镜长时间力热耦合的绝缘夹具装置在审

专利信息
申请号: 202310370700.9 申请日: 2023-04-10
公开(公告)号: CN116296757A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 王晋;王永峰;李隆玉;张跃飞;张泽 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: G01N3/02 分类号: G01N3/02;G01N3/04;G01N3/06;G01N3/18;G01Q30/02;G01Q30/10;G01Q30/20
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 王芳
地址: 310007 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种用于扫描电镜长时间力热耦合的绝缘夹具装置,涉及材料拉伸性能研究技术领域,包括两个对称设置的夹具结构,凹槽夹具开设有凹槽,内嵌式高温夹具、左绝缘块、右绝缘块和电极盖板均位于凹槽中,内嵌式高温夹具位于左绝缘块和右绝缘块之间,电极盖板与内嵌式高温夹具连接,电极盖板用于与样品接触,电极盖板用于外接电源并引入电流并加热样品,上高温盖板与凹槽夹具连接,上高温盖板位于内嵌式高温夹具、左绝缘块、右绝缘块和电极盖板的上方,且上高温盖板分别与内嵌式高温夹具、左绝缘块、右绝缘块和电极盖板之间具有间隙。本发明能够对样品进行直接加热,减少热传导途径,避免样品上的电流通过夹具流向周边。
搜索关键词: 一种 用于 扫描电镜 长时间 耦合 绝缘 夹具 装置
【主权项】:
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