[发明专利]一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置在审
| 申请号： | 202310378343.0 | 申请日： | 2023-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN116371794A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 路新春;睢英照;请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;F16C33/66;B08B1/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置，包括：箱体，其内部用于容纳晶圆并提供晶圆清洗的空间；清洗组件，包括位于晶圆两侧的两个水平设置的滚刷，滚刷具有驱动端和进液端；滚刷在位于其驱动端的驱动件的带动下沿其轴向旋转，对晶圆表面进行滚动擦洗；进液端的端部与进液端盖对接，进液端的外周配置有轴承组件，轴承组件的底部配置有引流装置；清洗液由进液端盖通入进液端，至少部分清洗液流入滚刷，其余清洗液穿过轴承组件后由引流装置排出。本发明在滚刷的进液端配置引流装置，使得流体流过轴承组件后由底部的引流装置流出，在对轴承组件实现水润滑的同时防止清洗液流进箱体，降低晶圆污染的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 轴承 润滑 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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