[发明专利]一种基于NV色心的荧光高效收集固态磁强计及其制备方法在审
| 申请号： | 202310378953.0 | 申请日： | 2023-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN116381577A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 尚正国;袁仁鹏;曾森;刘婧妍 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | G01R33/032 | 分类号： | G01R33/032;G01R33/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 廖曦 |
| 地址： | 400044 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于NV色心的荧光高效收集固态磁强计及其制备方法，属于固态磁强计的制备技术领域。本发明固态磁强计是在M/NEMS工艺基础上，引入超表结构透镜以实现激光的准直聚焦，利用N型100硅晶面各向异性湿法腐蚀的特性，结合ALD薄膜淀积及倒装焊，实现荧光的高效收集，具有工艺可操作性强，便于批量化等显著优点；同时采用超表结构透镜代替传统的物镜，以实现激发激光的准直聚焦。本发明的固态磁强计通过M/NEMS工艺在N型100硅片上实现硅的各向异性腐蚀，形成荧光反射面，同时镀以复合膜系结构，在实现荧光高反射的同时，对高反射膜进行有效保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 nv 色心 荧光 高效 收集 固态 磁强计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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