[发明专利]一种PMNT靶材及其制备方法在审
申请号: | 202310381212.8 | 申请日: | 2023-04-11 |
公开(公告)号: | CN116553928A | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 童亚琦;郑彧;李辉;刘晓花;王震 | 申请(专利权)人: | 中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司;中国建材集团有限公司 |
主分类号: | C04B35/499 | 分类号: | C04B35/499;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/34 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 王宇;刘继富 |
地址: | 100018*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请提供了一种PMNT靶材的制备方法,包括:获得MNT前驱体;将MNT前驱体与PbO混合并进行高温处理,获得PMNT粉体;将PMNT粉体进行球磨、造粒、过筛、冷等静压成型、排胶、热压烧结处理,获得PMNT靶材。本申请提供的制备方法可以得到微观结构均匀、致密度高、纯度高的PMNT靶材,特别是可以获得大尺寸高质量的PMNT靶材,从而提高PMNT薄膜产品的成品率,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 pmnt 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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