[发明专利]一种基于自动化的激光芯片检测设备及其检测方法在审
| 申请号： | 202310381994.5 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116337876A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李玉廷;刘崇军;李恒飞;陈远来 | 申请（专利权）人： | 互喜光电科技（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 谭鹏敏 |
| 地址： | 314211 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种基于自动化的激光芯片检测设备及其检测方法，涉及芯片检测装置技术领域，包括设备主体，设备主体内设有第一电动滑台、第二电动滑台、第三电动滑台，第三电动滑台上安装有滑块，滑块的一侧固定设有用于安装激光件的安装板，检测方法为控制托块移出设备后，集中装载芯片上料；移动杆向上移动通过圆杆带动齿条平移，驱动齿轮转动L形板，密封板关闭进料横槽；利用插块对托块固定，稳固芯片；通过在X、Y、Z方向移动测试座，调节移动激光对芯片全面缺陷测试。本发明激光芯片检测设备，其中利用可自由移动的激光对若干个芯片进行自动全面缺陷检测，提高了芯片检测的精度和效率，高自动化，检测方法降低了检测过程中芯片的检测误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 自动化 激光 芯片 检测 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于互喜光电科技（浙江）有限公司，未经互喜光电科技（浙江）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310381994.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
