[发明专利]链式去BSG工序的电池片生产系统在审
| 申请号： | 202310382577.2 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116387200A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 冉祖辉;刘双波;刘彩凤;刘卓;李龙;顿海龙 | 申请（专利权）人： | 英利能源发展（保定）有限公司;英利能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 秦春芳 |
| 地址： | 072150 河北省保定市满城*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种链式去BSG工序的电池片生产系统，包括管理平台和去BSG设备；去BSG设备包括上料端和下料端；上料端读取上料花篮内RFID芯片中存储的花篮号，并上报请求信息；管理平台向上料端下发请求信息对应的电池片的虚拟ID，并解除虚拟ID与上料花篮的绑定；去BSG设备记录电池片的流转信息并上报管理平台；下料端将下料花篮的装片信息上报管理平台；管理平台根据虚拟ID、流转信息以及装片信息，将电池片的硅片信息与下料花篮进行绑定。通过只在花篮芯片中存储花篮号，去BSG设备直接依据花篮号在管理平台中下载对应的电池片信息，再结合工序内的流转和装片的顺序，以相应的逻辑确定下料花篮装载的电池片的电池片信息，从而实现对电池片的单片级追溯。 | ||
| 搜索关键词： | 链式 bsg 工序 电池 生产 系统 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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