[发明专利]一种悬空器件法热导测量装置及其测量方法

摘要

本发明涉及一种悬空器件法热导测量装置及其测量方法，测量装置包括加热端和感应端，加热端设置有加热端电阻Rh，工作时，加热端电阻Rh通电；感应端包括电路1和电路2，电路1和电路2并联连接；待测器件置于加热端电阻Rh与感应端电阻Rs之间，用于将加热端电阻Rh的热量传输至感应端电阻Rs，该装置或方法通过为感应端电阻搭建惠斯通电桥，通过电桥修正感应端电阻，消除环境温度波动导致的测量精度影响，装置可用于测量纳米尺寸器件的热导。