[发明专利]液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质在审
| 申请号： | 202310399543.4 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN116922954A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 宫崎一仁;林辉幸;三根阳介 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;H10K71/13;B41J2/11;B41J3/407;B41M5/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供抑制由干燥导致的释放不良的液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质。液滴释放装置具有工作台、释放头、移动部和冲流部。释放头具有释放功能液的多个喷嘴，从喷嘴对位于工作台之上的基片释放功能液。移动部使位于工作台之上的基片与释放头相对移动。冲流部在利用移动部进行的相对移动中在释放头位于基片的上方之前接收从释放头释放的功能液。冲流部具有：接收功能液的垫状物；和将由垫状物接收到的功能液排出的排液管。 | ||
| 搜索关键词： | 释放 装置 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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