[发明专利]一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法

摘要

本发明公开了一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法，属于化学镀镍钯金技术领域，具体包括上挂、除油、微蚀、玻璃微蚀、酸洗、钯活化、抑制、化学镀镍硼、预镀钯、化学镀钯和化学镀金等步骤，本发明在氧化铝高温陶瓷钨金属上进行化学镀镍钯金进行金属改性，使工件具有良好的可焊性和可键合性，均金丝键合强度可达到280mN、平均金带键合拉力均大于500mN、平均芯片剪切强度达到5.11Kgf，均达到国军标相关技术标准。